粒子計數(shù)，分析儀器(粒子分析儀器)

KANOMAX研制的高分辨率小型多次環(huán)繞飛行時間型質(zhì)譜儀“infiTOF”，可以測定氣體中所含數(shù)十ppb的微量成分，并可以勝任其他質(zhì)譜儀難以應(yīng)對的領(lǐng)域，包括分子、化合物的結(jié)構(gòu)分析，同位素精密質(zhì)量分析等。

本產(chǎn)品通過小型化設(shè)計，更便于在半導(dǎo)體制程中，對生產(chǎn)現(xiàn)場產(chǎn)生的各種氣體進(jìn)行實時監(jiān)測。