MODEL 9010

Scanning TPC 掃描型液體中納米粒子計數(shù)器

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通過擁有自身專利的優(yōu)質(zhì)霧化器和先進技術(shù)能力的凝聚核粒子計數(shù)器
（CPC），實現(xiàn)了嶄新矚目的最小可測量粒徑為10納米

?擁有自身專利的獨特霧化器和高技術(shù)能力的凝聚核粒子計數(shù)器(CPC)。

? 可在10～20 nm范圍內(nèi)，以每5 nm為間隔設(shè)定測量粒徑下限(*)。

? 具備不受顆粒折射率和形狀影響的響應(yīng)性。

? 是SEMI指南中的推薦測量方法的認(rèn)證測量器。

? 不受測量場地限制，隨身攜帶去現(xiàn)場的小尺寸。

? 堅固耐用，只需少量維護。

(*)例如，選擇通道10nm 時，可以測量10nm 以上的粒徑。（上限約100nm）

ScaningTPC在超純水納米級污染檢測領(lǐng)域中，是一種完全嶄新的液體粒子計數(shù)器。在微顆粒測量行業(yè)中，最小可測粒徑極限是20nm（0.02μm）。與通用的激光照射產(chǎn)生的散射光測量原理相比，ScaningTPC通過完全不同的新的技術(shù)，實現(xiàn)了全球獨家首創(chuàng)的最小可測粒徑為10nm（0.01μm）。本技術(shù)通過自身專利的獨特霧化器對超純水樣品進行高精度噴霧，同時組合凝聚核粒子計數(shù)器（CPC）。從而誕生了KANOMAX FMT Inc.和CT Associates公司聯(lián)合開發(fā)的該成果。通過改變CPC內(nèi)的粒徑（10nm以上，15nm以上，20nm以上），可以計數(shù)各種粒徑的顆粒。不同于傳統(tǒng)光散射測試法，本產(chǎn)品的測試可以不受顆粒折射率和形狀的影響，而且小尺寸可以隨身攜帶，堅固耐用導(dǎo)致維護成本小。

圖1 原理示意圖

圖2 內(nèi)部結(jié)果示意圖

圖3 徑選擇和累積粒子計

通過改變凝聚粒子計數(shù)器（CPC）的最小檢測靈敏度，獲得所需測量粒徑檔以上的粒子濃度。

圖4 時間序列的數(shù)據(jù)變化（24 小時）

使用膠體二氧化硅（歐洲標(biāo)準(zhǔn)追溯性物質(zhì)）顆粒進行校準(zhǔn)

產(chǎn)品詳情

名稱	掃描型液體中納米粒子計數(shù)器STPC
型號	9010
測量方法	自身專利的霧化器和凝聚核粒子計數(shù)器（CPC）的組合測量
測量粒徑	10到20n m之間以5n m間隔設(shè)置（10n m以上，15n m以上，20n m以上）檢測效率50％
通道調(diào)整時間	2到5分鐘（更換粒徑通道時所需的穩(wěn)定時間）
測量范圍	10 3～10 10個/ m L
檢驗容積率	1μL/ min～10μL/ min（樣品引入的實測液量）
總流量	50～280 m L/ min
濃度變化響應(yīng)時間	約30秒內(nèi)（濃度變化的響應(yīng)時間）
樣品水壓	200～500 k Pa（30～70 p sig）
壓縮空氣/氮氣流量/壓力	25 s td L /min C DA或氮氣，345～414 k Pa（50～60 p si）
UPW非揮發(fā)性殘留物最大量	粒徑通道10n m時200ppt，20n m時1ppb
液體接觸部	PFA，PTFE，PEEK，藍(lán)寶石，316L不銹鋼
CPC啟動液	試劑特級正丁醇
CPC啟動液消耗量	約150毫升/天（附帶供應(yīng)瓶約1周）
CPC的真空源	內(nèi)置泵或外部真空源流量1L/min，絕對壓力400 m bar
運行環(huán)境　　溫度	15～35℃
濕度	0～85％不冷凝
樣品水溫	低于80°C
電源（霧化器）	100-240 VAC，50/60 Hz，最大90 W
電源（檢測器）	100-240 VAC，50/60 Hz，最大210 W
輸出	Modbus的RJ-45，USB閃存盤
內(nèi)部存儲設(shè)備	Micro S D
超純水進口	1/4英寸（6.35 m m）PFA Flaretek®
排水口	1/2英寸（12.7 m m）SS S wagelok®
壓縮空氣入口	1/4英寸（6.35 m m）SS S wagelok®
檢測真空器	1/4英寸（6.35 m m）SS S wagelok®端口
顯示器	7英寸TFT彩色觸摸屏（高87 m m×寬154 m m）
外部尺寸	420（寬）×430（深）×270（高）（430包括瓶子）m m
重量	16.1公斤

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