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產(chǎn)品中心 product

MODEL 9410

NanoSpotlight System 納米顆粒高效采樣系統(tǒng)

  • 中文資料英文資料
    9410型納米顆粒高效采樣系統(tǒng)使用特殊的霧化器和冷凝技術(shù)高效收集UPW中的納米顆粒
     
    【應(yīng)用范圍】
    ?UPW系統(tǒng)的污染測(cè)試
    ?過濾器的維持測(cè)試
    ?顆粒測(cè)量裝置的校正
     
    如果在半導(dǎo)體制造工藝中,測(cè)出數(shù)十個(gè)納米級(jí)顆粒的話,則必須判定該顆粒的元素組成。
    當(dāng)該顆粒的舉動(dòng)影響到半導(dǎo)體制造設(shè)備中的質(zhì)量時(shí),分析該污染顆粒的組成將了解現(xiàn)象的原因及解決方法。
    選用SEM或其它傳統(tǒng)的分析方法,在25 mm過濾器上收集粒子所需時(shí)間較長(通常以周為單位),而長時(shí)間的分析操作勢(shì)必影響生產(chǎn)運(yùn)行。通常,NanoSpotLightTM在24小時(shí)內(nèi)即可完成測(cè)定,堪稱SEM的明智選擇。
     
  • Nano Spotlig系統(tǒng)中,使用納米顆粒抽取器(Nano Particle Extractor, NPE, 圖1)產(chǎn)生超純水(UPW)的液滴分布。每個(gè)液滴干燥后的顆粒將導(dǎo)入納米顆粒收集器(Nano Particle Collector, NPC 圖2)中最后沉積在收集板上。
     
    可提供將直徑為1英寸(25.4mm)的硅晶片或聚碳酸酯安裝在SEM樣品臺(tái)上的收集板。(圖3)
    通過收集表面的進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理,SEM的操作技術(shù)人員,可在晶片的正中心處容易找到顆粒集聚點(diǎn),并測(cè)量5nm的小顆粒。
     
    同時(shí)通過能量分散型X 線光譜儀(EDS/RDX)測(cè)量污染的元素組成。
     
    【應(yīng)用實(shí)例】圖4:離子交換樹脂中的釋放物的SEM/EDX分析
    通過使用Nano SpotLight TM系統(tǒng),從含有離子交換樹脂釋放出的成分元素的超純水中抽取顆粒。通過納米顆粒抽取器從水分中提取Ca,P和Na,通過納米顆粒收集器沉積在SEM樣品臺(tái)上,使用SEM/EDX進(jìn)行分析。新樹脂設(shè)置時(shí)“典型的”顆粒形成的測(cè)繪,可以通過離子交換樹脂的脫落特性及監(jiān)測(cè)壽命預(yù)測(cè)的結(jié)果,獲得有用的信息。
產(chǎn)品詳情
名稱 粒抽取器(NPE)
型號(hào) 9410-00
粒峰粒徑 1.0 μm以下(通常粒徑0.2μm)
10nm以上液滴數(shù) 粒徑個(gè)數(shù)(dN/dLogDp)×10 - 5
檢測(cè) 2~3 μL/min
液體流量(在 50~200 m L/min
化器流量(直接流量) 0.5~3.0毫升/分
氣溶膠流量 1.0~1.5升/分
對(duì)濃化的響應(yīng)時(shí)間 <90秒內(nèi)
進(jìn)力(在 200~500 kPa(29~72 psig)
壓縮空氣流量/ 3 std L /min C DA(清干燥空氣)或氮?dú)猓?45-414 k P a,50-60 p si)
液體接觸部材料 PFA®,PTFE,藍(lán)寶石,316 L不銹鋼,PEEK
工作環(huán)境溫度 15~35°C
工作環(huán)境濕度 0~85%無冷凝
最高水溫 60°C
外形尺寸 W23×H23×D35.5(有時(shí)46)m m
重量 6公斤
100~240 VAC 5 0/60 Hz最大90 W
Modbus的RJ-45,USB
內(nèi)部存儲(chǔ)設(shè)備 Micro S D
進(jìn) 1/4英寸(6.35 m m)PFA Flaretek®
排水口 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®
壓縮空氣入口 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®
真空檢測(cè) 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®端口
示屏 3.5英寸TFT彩色觸摸屏


名稱 粒收集器(NPC)
型號(hào) 9410-01
粒徑范 5n m~2.5μm
收集效率 > 9 5%
上限 1×104/cm3
冷凝液 純凈水或超
品流量入口 1.0升/分
品氣溶膠狀態(tài) 0~40°C(無腐
連續(xù)收集時(shí)間 每個(gè)洞可以設(shè)置1分到24小時(shí)
收集點(diǎn)直徑 0.5 m m
傳輸方式 USB(采參數(shù),環(huán)境數(shù)據(jù)等)
工作環(huán) 溫度15~30℃,濕度10~95%RH
品入口 6 m m O D,SUS
100~230 VAC / 5 0-60 Hz;最大140 W
外部尺寸 W305×H500×D255 m m
重量 本體6.8 k g,連續(xù)點(diǎn)收集模:1.1 k g


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